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[IT뉴스][인터뷰] 안승욱 티로보틱스 대표 "8.6세대 노하우로 유리기판 로봇 中 선점" [C-터치 선전 2026]

온카뱅크관리자

2026-10-30 11:07:25

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 8.6세대 IT용 대형 OLED 노하우 기반 TGV 510×510㎜ 유리기판 진출
 미세 홀 파티클 막는 '비접촉 부유 핸드' 적용… 대기·진공 턴키 공급
 국내 장비사 평가 진행 이어 中 디스플레이 네트워크로 패키징 선점
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 [선전(중국)=디지털데일리 배태용기자] "그동안 8.6세대 IT용 대형 OLED 공정에서 검증된 고정밀 이송 기술이 차세대 유리기판 시장에서도 가장 확실한 무기입니다. 국내 주요 반도체 장비사들과의 평가를 거쳐 중국 디스플레이 고객사 네트워크까지 빠르게 흡수해 TGV 유리기판 로봇 시장을 선점하겠습니다."
 27일 중국 선전 세계전시컨벤션센터에서 개막한 'C-TOUCH &amp; DISPLAY SHENZHEN 2026' 현장에서 만난 안승욱 티로보틱스 대표는 차세대 AI 반도체 패키징 핵심으로 떠오른 TGV(유리관통전극) 유리기판용 진공 및 대기로봇 솔루션을 소개하며 이같이 자신감을 드러냈다.
 ◆ 8.6세대 대형 기술을 유리기판으로… 파티클 차단 '비접촉 핸드' 결합
 티로보틱스는 그동안 4세대부터 10.5세대 이상 초대형 디스플레이 진공 챔버 안에서 기판을 이송하는 고정밀 로봇을 국산화해 왔다. 중국 시장에서만 BOE와 CSOT 및 티안마 등에 700대 이상 누적 수천억원 규모의 진공로봇을 공급한 레퍼런스를 보유하고 있다.
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 이번 전시회에서 티로보틱스가 주력으로 내건 제품은 510×510㎜ 규격의 차세대 TGV 유리기판 전용 이송 로봇이다. 웨이퍼 무게(약 1.5㎏)와 비교해 10배 이상 무거운 유리기판의 하중을 안정적으로 견디면서 고진공 환경에서 정밀하게 기판을 옮기는 것이 핵심이다.
 
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 특히 미세 홀이 뚫려 있어 물리적 접촉 시 파티클(미세 오염)과 정전기 손상이 발생하기 쉬운 TGV 공정 특성을 고려해 대기 환경 로봇에 일본 기술 제휴 기반의 '비접촉 부유 이송 핸드'를 결합했다. 기판을 물리적으로 잡지 않고 공기압으로 띄워 이송함으로써 스크래치와 불량률을 획기적으로 낮추는 구조다.
 안 대표는 "8.6세대 OLED 공정에서 200㎏에 달하는 마스크와 원판을 다루던 고하중 정밀 제어 노하우를 바탕으로 유리기판용 로봇을 개발했다"라며 "진공 챔버 내부에서 기판을 이송하는 진공 로봇은 물론 외부 로드락 챔버와 연계되는 비접촉 대기 로봇까지 일체형 턴키로 공급할 수 있는 독자적인 특허 구조를 한국과 미국 중국 일본에 등록 완료했다"라고 설명했다.
 ◆ 韓 장비사 평가 이어 中 거점 공략 가속… 글로벌 차세대 기판 주도권 확보
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 티로보틱스가 신형 TGV 이송 로봇의 글로벌 데뷔 무대로 선전을 택한 배경에는 급변하는 중국 패키징 시장 상황이 자리 잡고 있다. 현재 중국 디스플레이 및 부품 업계는 8.6세대 IT 패널 양산 투자와 함께 유리기판을 적용한 선진 패키징 파일럿 라인 구축에 대규모 자금을 투입하고 있다.
 안 대표는 "현재 국내 유수의 반도체 장비사들과 진공 및 대기 로봇을 결합한 평가를 순조롭게 진행하고 있다"라며 "동시에 기존 디스플레이 분야에서 신뢰를 쌓아온 중국 기업들과도 차세대 TGV 유리기판 생태계 조성을 위한 협력을 본격적으로 추진하고 있다"라고 밝혔다.
 이어 "고하중 유리기판을 정밀하게 다루는 진공 및 비접촉 대기로봇 기술은 글로벌 시장에서도 매우 드문 영역"이라며 "디스플레이 진공로봇과 함께 최근 북미 수출 인증을 획득한 물류로봇(AMR)을 양대 축으로 삼아 글로벌 첨단 팩토리 시장에서 입지를 공고히 다져나갈 것"이라고 강조했다.
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