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[연예뉴스]한국원자력연구원, 진공펌프 핵심기술 이전…반도체 장비 국산화 기대

온카뱅크관리자

2026-04-05 10:02:09

<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div>  <strong class="summary_view" data-translation="true">벡스코에 유체이송 시스템 이전…특허 9건 포함<br>고유량·고압·저진동 구현…초고진공 공정 대응<br>반도체·디스플레이 공급망 자립 기반 마련</strong> 
        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
         <section dmcf-sid="p4NsxmQ9ON">
          <p contents-hash="7d0253352932c5081007218f3267a1b6274db418cbcebdb52db6194edc1257c9" dmcf-pid="U8jOMsx2ra" dmcf-ptype="general"> [이데일리 이소현 기자] 한국원자력연구원이 반도체·디스플레이 공정에 활용되는 진공펌프 핵심 기술을 국내 기업에 이전했다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="e302e31f9b4ac9e0e528cbc5a2224637578a17336ee04621aeda570ffec27491" dmcf-pid="u6AIROMVrg" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="류재경(왼쪽부터) 벡스코 대표이사, 임인철 한국원자력연구원 부원장, 임상순 기술보증기금 대전기술혁신센터장이 한국원자력연구원-㈜벡스코 기술실시계약 체결식에서 기념사진을 촬영하고 있다.(사진=한국원자력연구원)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/Edaily/20260405100210442glja.jpg" data-org-width="670" dmcf-mid="3Z8WgyoMEA" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/Edaily/20260405100210442glja.jpg" width="658"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            류재경(왼쪽부터) 벡스코 대표이사, 임인철 한국원자력연구원 부원장, 임상순 기술보증기금 대전기술혁신센터장이 한국원자력연구원-㈜벡스코 기술실시계약 체결식에서 기념사진을 촬영하고 있다.(사진=한국원자력연구원)
           </figcaption>
          </figure>
          <div contents-hash="9b742bf8587f9f8facdad44c4c4b28a74957b4b24e7f65b6bbfec0d843346a50" dmcf-pid="7PcCeIRfOo" dmcf-ptype="general">
           원자력연은 고효율 ‘가압·진공 유체이송 시스템’ 기술을 벡스코에 이전하는 기술실시 계약을 체결했다고 5일 밝혔다.
          </div>
          <p contents-hash="b49c1f8a9bd631c79951fe85fa673ab85dee6dc4f5e8de28e0dc521690ef52ea" dmcf-pid="zHKxtQ1yrL" dmcf-ptype="general">계약 조건은 정액 기술료 1억원과 매출액의 1.5%를 경상 기술료로 받는 방식이며, 관련 특허 9건과 노하우 1건이 포함됐다. 기술 실시 기간은 10년이다.</p>
          <p contents-hash="50a810443b771e8356a9a90366b9ee2ab24b98031d6042673925c854d4339ff8" dmcf-pid="qX9MFxtWOn" dmcf-ptype="general">벡스코는 진공펌프와 진공 시스템을 생산하는 기업으로, 이번 기술 이전을 통해 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 제어 시스템 분야로 사업 영역을 확대할 계획이다.</p>
          <p contents-hash="b53184a6d118b65e6c57230e2aee9b2cc74e7acb787a63622b0be16ff1b46914" dmcf-pid="BZ2R3MFYmi" dmcf-ptype="general">이번에 이전된 기술은 로터리 피스톤 방식의 유체이송 시스템으로, 하나의 장치에서 유체 흡입·가압·이송·진공 형성을 동시에 구현할 수 있는 것이 특징이다.</p>
          <p contents-hash="e37cef5337d644558a246cc540a497f561b28e480ac88fe2a5e87cead010d597" dmcf-pid="b5Ve0R3GwJ" dmcf-ptype="general">원통 내부에서 회전체(로터)가 회전하면서 압력 차를 만들어 유체를 이동시키는 구조로, 고유량·고압 성능과 함께 저진동·저소음을 동시에 달성했다. 점도가 높은 유체도 안정적으로 처리할 수 있으며, 유입·배출 방향 전환을 통해 양방향 이송도 가능하다.</p>
          <p contents-hash="e0701cbb5bbf724cbc4d9cb5f91801d01dbf6f7cef302ba22d02dfc143be9993" dmcf-pid="K1fdpe0HEd" dmcf-ptype="general">기존 회전식 펌프는 고압 형성에 한계가 있고, 왕복식 펌프는 구조가 복잡하고 유량 제약이 있다는 단점이 있었으나, 해당 기술은 이를 개선하고 로터를 추가해 성능을 확장할 수 있도록 설계됐다.</p>
          <p contents-hash="dbf8f6890da91c14e1dc8b3c8e23af48fdbc36acd28248dcbc6631cf18ad8e71" dmcf-pid="9t4JUdpXIe" dmcf-ptype="general">특히 초고진공 환경 구현이 가능한 점에서 반도체·디스플레이 제조 공정에 적용성이 높은 것으로 평가된다.</p>
          <p contents-hash="3ddf2dfd09912979a7f63ef8e19299770d57a208dc7d701ab7c0a8d62c293626" dmcf-pid="2F8iuJUZDR" dmcf-ptype="general">그동안 핵심 유체이송 장비는 해외 제품 의존도가 높았으나, 이번 기술 이전으로 국산화 기반이 마련돼 비용 절감과 공급망 안정성 확보에 기여할 것으로 기대된다.</p>
          <p contents-hash="956de7c9e5e6d52a041c7b87602cc60177fd6e16356d12e4a52b6c44a359e463" dmcf-pid="V36n7iu5rM" dmcf-ptype="general">해당 기술은 반도체·디스플레이뿐 아니라 에너지, 화학 등 다양한 산업 분야로의 확장 가능성도 있다.</p>
          <p contents-hash="a74fc379edc9e0ddbbb7dae335ce5c91ce65996559da2b5dacd628fc656de26b" dmcf-pid="f0PLzn71mx" dmcf-ptype="general">임인철 원자력연 부원장은 “원자력 연구 과정에서 확보한 고부가가치 원천기술이 산업 현장으로 확산되는 계기”라며 “핵심 장비 국산화를 통해 기술 자립도를 높일 수 있을 것”이라고 말했다.</p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="bb8c85595bf337be2b06a05e5a21ef1fa559bd991883815405d099461f6c79d9" dmcf-pid="4wXuIUOcEQ" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="유체이송 장치 구성도(사진=한국원자력연구원)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/Edaily/20260405100211676fvii.jpg" data-org-width="670" dmcf-mid="0mUVY2WIwj" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/05/Edaily/20260405100211676fvii.jpg" width="658"></p>
           <figcaption class="txt_caption default_figure">
            유체이송 장치 구성도(사진=한국원자력연구원)
           </figcaption>
          </figure>
          <p contents-hash="aaccf424a4f22527db18ce68d02d4584590e4e1017d8fa742dcb3c5121cd70d3" dmcf-pid="8rZ7CuIkrP" dmcf-ptype="general">이소현 (atoz@edaily.co.kr) </p>
         </section> 
        </div> 
        <p class="" data-translation="true">Copyright © 이데일리. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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