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[대만 TMSC (연합뉴스 자료사진)]

세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업인 대만 TSMC가 네덜란드 반도체장비업체인 ASML가 생산한 3억5천만 유로(약 5천220억원)에 달하는 차세대 극자외선(EUV) 장비를 구매한 것으로 알려졌습니다. 

7일 연합보 등 대만언론은 소식통을 인용해 TSMC가 최첨단공정을 통한 반도체 생산을 위해 관련 장비 구매에 나섰다면서 이같이 보도했습니다.

해당 소식통은 로저 다센 ASML 최고재무책임자(CFO)가 최근 콘퍼런스콜에서 TSMC와 인텔이 올해 연말까지 차세대 EUV 노광장비인 '하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA) EUV'를 인도할 것이라고 밝혔다고 언급했습니다. 

대만언론은 TSMC가 남부 가오슝 지역 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 공장에서 '하이 NA EUV' 장비를 이용해 2025년부터 후면전력공급이 가능한 N2P 제품을 생산할 예정이라고 전했습니다. 

인텔은 지난 4월 미국 오리건주 연구개발(R&D) 센터에 차세대 EUV 장비를 설치했다고 밝힌 바 있습니다. 파운드리 업체 중 '하이 NA EUV' 장비를 도입한 것은 처음으로 알려졌습니다. '하이 NA EUV'는 반도체 회로를 더 세밀하게 그릴 수 있는 ASML 차세대 장비로 AI 응용프로그램과 첨단 소비재 전자제품용 칩 제조에 쓰입니다. 

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